午夜视频在线观看免费日本,国产成人精品综合久久776,国产精品久久久久三级通话,日本在线视频二区一区

當(dāng)前位置:網(wǎng)站首頁 > 公司新聞

半導(dǎo)體潔凈室氣態(tài)分子污染檢測與控制

半導(dǎo)體潔凈室氣態(tài)分子污染檢測與控制

氣態(tài)分子污染物AMC的來源

潔凈室中的AMC來源分為外部污染和內(nèi)部污染。外部污染大致包括煙囪排放、汽車機(jī)車尾氣排放等,它們通常經(jīng)由新風(fēng)空調(diào)箱再吸回潔凈室內(nèi)。它的去除方式主要是在新風(fēng)空調(diào)箱內(nèi)設(shè)置對(duì)于酸性污染物和堿性污染物可高效凈化、針對(duì)有機(jī)化合物的有限空氣洗滌器和作用與酸堿性污染物、有機(jī)化合物的化學(xué)過濾器。

內(nèi)部污染大致包括化學(xué)品、機(jī)臺(tái)設(shè)備、潔凈室內(nèi)作業(yè)人員、潔凈室內(nèi)建材等。特別是新建的廠房,建筑結(jié)構(gòu)材質(zhì)、涂料、機(jī)臺(tái)內(nèi)部材質(zhì)、接縫密封劑、晶圓儲(chǔ)存盒、PVC手套等塑膠材質(zhì)等都會(huì)對(duì)環(huán)境造成一定的影響。它的去除方式主要是通過高效過濾風(fēng)機(jī)組單元(FFU),主要在微循環(huán)風(fēng)口設(shè)置化學(xué)過濾器。 

潔凈室氣態(tài)分子污染物AMC檢測SEMIF21-1102的標(biāo)準(zhǔn)中將潔凈室中的空氣污染物分為四種,一是酸性污染物,包括鹽酸、硝酸、硫酸、氫氟酸等;**種是堿性污染物,主要是氨氣;第三種是可凝性污染物,指常壓下沸點(diǎn)大于室溫且會(huì)在表面凝結(jié)的化學(xué)物質(zhì)但不包含水;第四種是摻雜性污染物,可改變半導(dǎo)體物質(zhì)之電性能化學(xué)元素,如硼、磷、砷和金屬離子等。

十幾年前國際半導(dǎo)體組織結(jié)合ITRS技術(shù),對(duì)潔凈室內(nèi)AMC種類進(jìn)行整理定義。2017年以后IRDS設(shè)備與系統(tǒng)路線圖被業(yè)界了解,AMC物種遠(yuǎn)不局限于MC、MA、MB及MD等。

氣態(tài)分子污染物(AMC)基于國際半導(dǎo)體設(shè)備和系統(tǒng)線路圖,不同制程節(jié)點(diǎn)要求下潔凈室內(nèi)AMC上限濃度一覽。

氣態(tài)分子污染物(Airborne molecular contaminant,AMC),是對(duì)半導(dǎo)體制程良率可能產(chǎn)生負(fù)面影響的氣態(tài)污染物的統(tǒng)稱。

現(xiàn)行的AMC檢測方法,普遍受到儀器數(shù)據(jù)輸出頻率低或者物種覆蓋范圍較小的限制。例如常見的在線色譜質(zhì)譜聯(lián)用通常每30分鐘才能出一組數(shù)據(jù),而且耗材和維護(hù)人力成本較高。另一類常見的在線分析方式是光譜法,比如以光腔衰蕩光譜(CRDS)為代表的激光吸收光譜技術(shù)。因激光光源限制,一臺(tái)CRDS設(shè)備一般只能檢測一種或者幾種化合物,同時(shí)數(shù)據(jù)時(shí)間分辨率是分鐘級(jí)別。這也是IRDS路線圖中對(duì)各種類的AMC都推薦某幾種設(shè)備組合的主要原因。

質(zhì)譜儀可以覆蓋AMC的幾大主要種類,同時(shí)獲得秒級(jí)響應(yīng)和pptV級(jí)別的檢測限。搭配的高分辨率TOF飛行時(shí)間質(zhì)譜的全譜記錄讓Vocus Cl-TOF具有數(shù)據(jù)回溯分析的功能,這在半導(dǎo)體需管控AMC種類不斷擴(kuò)充的前提下顯得尤其重要。

在潔凈室技術(shù)中,污染不僅包括嚴(yán)格意義上的灰塵的微粒,還包括任何有干擾作用的固體、液體、氣體、熱和電磁,所以需要小心控制與生產(chǎn)者有關(guān)的環(huán)境,這可能會(huì)對(duì)產(chǎn)品生產(chǎn)過程和制造質(zhì)量產(chǎn)生負(fù)面的影響。

去除方法

半導(dǎo)體生產(chǎn)制程包含有精密的微機(jī)電和積體電路,對(duì)生產(chǎn)環(huán)境潔凈度的要求特別嚴(yán)格,因此其整個(gè)制造過程都是在嚴(yán)格控制的潔凈室環(huán)境下完成的。

化學(xué)過濾器的定義為空氣分子污染隔離用的過濾器,其原理是通過物理和化學(xué)結(jié)構(gòu)來實(shí)現(xiàn)。通常實(shí)際選用是要根據(jù)污染物種類、濃度和處理風(fēng)量等條件來選擇合適的化學(xué)過濾器。目前的化學(xué)過濾器是選擇性的吸附氣體,而不是機(jī)械地“過濾”雜質(zhì)。吸附是固體物質(zhì)表面對(duì)氣體或液體分子的吸附現(xiàn)場,其中固體物質(zhì)是吸附劑,被吸附的物質(zhì)稱為吸附質(zhì)。吸附可分為物理吸附和化學(xué)吸附。



午夜福利成人免费毛片| 欧美口爆吞精在线播放| 国产经典av在线播放| 欧美激情一级在线播放| 国产精品国语对白一区二区| 白丝美女被插在线观看| 在线亚洲午夜av大片| 尤物精品视频在线观看| 日本一区二区三区四区乱伦理片| 人妻制服丝袜中文字幕| 色av一区二区三区四区五区| 国产精品偷伦一区二区| 日本美女被黑人插入视频| 日本啪啪精品一区二区三区| 精品人妻人人做人人爽| 欧美欧美日韩综合一区天| 中文字幕日本五十路熟女| 中国少妇和黑人做爰视频| 国精品人妻一区二区三区| 亚洲av日韩av激情av| 自拍欧美国产日韩精品| 国产三级一区二区三区四区| 国产高清亚洲一区二区| 亚洲欧美自拍偷拍色图| 国内公厕偷拍美女撒尿| 国产成人精品高清在线| 日本黄网色三级三级三级| 在线中文字幕亚洲欧美一区| 后入美臀少妇一区二区| 好紧好湿好爽视频在线观看| 欧美精品一区二区三区色| 天堂av在线av在线观看| 人妻丝袜制服一区二区| 欧美日韩大陆中文字幕| 91亚洲精品一区在线| 久久久视频免费在线观看的| 最好看的日本中文字幕在线| 少妇系列在线免费观看| 自拍美女被下药无套内射| 性感美女在线看一区二区| 亚洲av偷拍自拍一区|